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太阳能级硅片生产工艺中悬浮液粘度研究

摘要

硅片线切割工艺中悬浮液特性与切割质量有重要关系,本文对悬浮液特性进行了理论与实验分析,测绘了悬浮液的粘度与温度特性曲线,为硅片的线切割工艺优化提供了理论和实验依据.

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