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衬底温度对溅射后腐蚀法制备绒面ZnO透明导电膜性能的影响

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本文利用中频脉冲磁控溅射方法,采用重量2﹪的Al掺杂Zn(纯度99.99﹪)为靶材制备平面透明导电ZnO:Al薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5﹪的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构.研究了平面ZAO薄膜的结构特性,以及衬底温度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响.结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,可用于硅基薄膜太阳电池.

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来源
《第九届中国太阳能光伏会议》|2006年|211-214|共4页
会议地点成都
作者
薛俊明; 黄宇; 仪器科学与动态测试教育部重点实验室; 孙建; 赵颖; 耿新华;
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作者单位

中国可再生能源学会;

四川大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM914.42;TN304.055;
关键词
中频磁控溅射; 湿法腐蚀; 透明导电膜; 衬底温度; 薄膜太阳电池;

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