磁场热处理对Sm36Fe64薄膜磁性能的影响

摘要

采用直流磁控溅射法在SiO2衬底上制备Sm36Fe64负磁致伸缩薄膜.采用X射线衍射,场发射电子显微镜,交流梯度样品磁强计等方法研究了在富稀土情况下,磁场热处理对薄膜结构特性,微观结构及磁性能的影响.发现室温下制备的Sm36Fe64薄膜为非晶态,颗粒不均匀,矫顽力较大.随着退火温度的升高,由于颗粒均匀化以及膜内应力减小,矫顽力迅速减小.在温度高于325℃后,由于薄膜中氧化物的形成及颗粒的长大,矫顽力缓慢增加.热处理后,部分Sm被氧化且出现了bcc-Fe的晶粒.