分流法超高/极高真空校准装置性能研究

摘要

分流法超高/极高真空校准装置由极高真空(XHV)系统、超高真空(UHV)系统、流量分流系统三部分组成。使用磁悬浮涡轮分子泵和非蒸散型吸气剂泵组合抽气在XHV校准室获得了10<'-10>Pa的极高真空;采用的分流法真空规校准方法,使压力校准下限延伸到了10<'-10>Pa;利用非蒸散型吸气剂泵对惰性气体无抽速的特性,使用惰性气体校准时,减小了校准下限的不确定度;校准装置的校准范围为(10<'-4>～10<'-10>Pa,合成标准不确定度为1.5％～3.5％。