退火气氛对Al-F共掺杂ZnO透明导电薄膜性能的影响

摘要

通过溶胶-凝胶法,采用Al、F共掺杂的方法在4种不同的气氛下制备ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随退火气氛的变化关系.制备的Al:F:ZnO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜。4种退火气氛相比,在空气气氛下退火时,平均晶粒尺寸最大,为43.4nm,导电性能最好,电阻率可低达6.5×10-2Ω·cm.4种退火气氛下,薄膜在可见光范围内的平均透过率均达到了75％以上,其中,空气气氛下退火时薄膜的透光性最好。