椭圆偏振法对阳极氧化铝薄膜光学特性的测量

摘要

阳极氧化铝(以下简称AAO)薄膜以其制备技术相对成熟、制备过程相对简单而被广泛应用于各个科研领域,具有不同表面形貌或空间结构的AAO薄膜常见于各种光学系统中.但是其本征特性,例如等效折射率和厚度等参数,难以用常规的测试办法在不损坏薄膜的条件下获得.本文利用椭圆偏振法,以氙灯为光源,通过测试其椭偏光谱,利用拟合的办法用于AAO的厚度、折射率和消光系数等参数测定.实验中调整模型的结构,以减小拟合结果的标准差并使色散公式的参数在合理范围,获得具有较高置信度的拟合结果.对不同条件下获得的AAO薄膜进行了表征,准确并无损的获得了薄膜的厚度、折射率和消光系数等参数.本研究为薄膜的制备条件提供了线索,为薄膜的利用提供了可信的参数.