洁净室质量的保证尘埃颗粒计数仪的检测法规

摘要

要想保证洁净室的质量,必须正确地检测洁净室的有关技术指标。洁净室的最主要技术指标是"洁净度"。洁净度的最主要检测仪器是"尘埃颗粒计数仪"。为了保证尘埃颗粒计数仪的测定数据准确可靠,需要制定尘埃颗粒计数仪的检测法规。