太阳电池用晶体硅片绒面制备的研究

摘要

本文研究了太阳电池用单晶硅片和多晶硅片绒面的制备工艺。分别用Na2C03/NaHC03和NaOH/异丙醇(IPA)体系制备出了单晶硅片减反射绒面,分析了两者的优劣和影响绒面制备的各种因素。研究了HF/HN03体系在制备多晶硅绒面时,HF和HN03的浓度及缓和剂H3P04的影响。