我国微机械技术发展概述

摘要

本文从微机械技术基础理论研究、微机械制造工艺、微装配技术等方面阐述了我国微机械技术的研究概况。以微机械技术在航空、航天、国防等领域应用的两个方面一一微飞行器和皮、纳卫星为例，阐述了我国微机械技术与美国等发达国家的主要差距。阐明了微机械技术的发展趋势及微机械技术发展所面临的科学难题。