基于SOI的内嵌圆式正八边形谐振腔滤波器研究

摘要

SOI光波导是硅基光波导器件的基础,也是实现其他集成光学器件的基础。本文分析了SOI脊波导的单模条件,结合SOI波导模型提出了内嵌圆式正八边形谐振腔的回音壁模式滤波器。应用有效折射率法把三维SOI模型转化为二维结构,并应用二维时域有限差分法进行模拟。针对模拟结果进行分析改进,给出了串联情况下滤波器。