半加成方法的初步探讨

摘要

半加成法是线路细化的主要工艺之一,它的制作流程与传统的减成法有所不同.本文对半加成工艺制作细线路进行了初步的探讨,包括:采用铜载体铜箔和surface etching把面铜减到5um、8um两种方法的差别、垂直方向和侧面方向蚀刻量的差别.

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