凸双曲面SiC反射镜检测研究

摘要

大口径、大相对孔径凸非球面的加工检测一直是限制反射式光学系统应用的瓶颈.通过对比传统的折射式补偿器设计和Hindle检测方法,设计了串接Hindle法用于φ134mm的SiC材质凸双曲面反射镜的检测,两个球面反射镜直径为φ220mm和φ280mm,避免了补偿器口径过大引起的加工困难和成本过高的问题,待检反射镜的中心不可检区仅为φ10mm.进一步对这种方法的精度进行了分析,认为满足进行高精度检测的要求.