无机薄膜电致发光平板显示器的老化工艺

摘要

本文主要阐述了一种无机薄膜电致发光(TFEL)显示器的老化技术方法.该老化方法将显示器件在氧气或者含氧气氛中预先老化足够长的时间,使TFEL器件中由薄膜的针孔等缺陷所诱发的打火自行愈合,然后再将器件封装在保护气氛中继续老化.由于在含氧气氛中,电极在打火时自身被氧化,形成绝缘层,抑制,扩展型的介质层击穿,使断线产生的可能性降到最低.这种老化方法大幅度提高了显示器的可靠性,提高了器件生产的成品率和生产效率,降低了制备薄膜所需的环境和设备要求,降低了成本,适用于大批量生产.