硅基异质结太阳电池钝化层工艺的研究

摘要

通过引入a-SiOx:H(i)层，其钝化效果比a-SiOx:H(i)层的效果更佳，但此方法会造成电池FF的下降。当a-SiOx:H(i)成膜条件越接近硅烷耗尽区，薄膜的钝化效果越好，其H含量与R因子出现显著下降。通过各步工艺的整合优化，研发出转化效率为20.90%的常规SHJ太阳电池，和20.44%的可弯曲薄型电池。