从ITRS2007看微电子计量的发展

摘要

本文介绍了国际半导体技术发展路线图2007年版微电子计量技术的需求、困难和挑战，在分析国内外微电子计量研究现状的基础上，阐述了我国开展微电子计量技术研究的重要性和紧迫性。