基于ZnO/PI结构的柔性声表面波器件的有限元仿真研究

摘要

随着微机电系统(MEMS)对柔韧性和弹性日益增加的需求,提出了一种新型的基于ZnO和聚酰亚胺(PI)结构的声表面波器件(SAW).本文中采用了COMSOL软件的二维有限元仿真,得到柔性SAW器件模型在瑞利模式下的振动特性,及不同ZnO厚度对瑞利波的频率和相速度的影响.采用磁控溅射系统和紫外光刻机制备了三组柔性SAW器件,其波长均为16μm,ZnO厚度分别为1.2μm、2.3μm和4μm,并与仿真模型形成对照.结果表明,制备的SAW器件特性与仿真结果具有很好的一致性.