基于组合铂膜探头的气体流量计研制

摘要

文章介绍了一种用于测量气体流量的组合铂膜探头，该探头以热传递原理为基础。对该组合铂膜探头的温度特性以及温度补偿性能进行了实验研究，并给出了用该探头进行气体流量测量的实验数据，结果证明该组合热膜探头在微小流量测量中具有较高的灵敏度并具有较好的测量精度和重复性。