沉积温度对LPCVD-BCx形貌和成键的影响

摘要

以BCl3-C3H6-H2为反应体系，采用LPCVD法制备BCx材料。利用扫描电子显微镜(SEM)观察沉积产物的微观形貌，X射线光电子能谱(XPS)分析BCx材料的元素含量和化学结构，结合化学反应过程，探讨了导致沉积产物形貌、成分和成键状态差异的原因。rn SEM结果表明，温度对沉积产物的形貌和生长速度具有显著影响。XPS结果表明，沉积温度既影响到BCx材料内B、C元素含量，也影响到各元素的化学结构。