近场声成像——扫描电子声显微术和扫描探针声显微术

摘要

声成像是利用声波更"直观"地观察和研究物质结构和特性的成像技术，与光学成像技术相比，声成像技术有两个显著的特点。一个是利用声成像，不仅可得到材料的表面像，还可以实现不透明材料的内部成像。另一个是声成像得到的是力学像，反映的是材料的声学性质。扫描电子声显微术(SEAM)和扫描探针声显微术([SPAM)是两种新的近场成像技术，它们可以突破远场成像中像分辨力的波长限制，在通常的几十～几百KHz的超声频率范围内，实现分辨力高达亚微米和纳米的声成像，为研究材料微区结构和特性提供了新的有效手段。rn 本文将对SEAM和SPAM系统的成像原理和实验结果作简单的介绍。