某發光二極體廠機台維修作業環境空氣微粒特性調查

摘要

从职业卫生观点来看,有关发光二极管厂维修工程师工作时环境微粒暴露特性的描述非常重要.本研究即在一家发光二极管厂进行,该厂中的MOCVD机台是在开放空间环境下,以真空吸尘器、擦拭布刮除等方式进行定期机台维修.本研究环境微粒浓度分布状况分别以直读式仪器量测及环境采样分析得到时量平均浓度的监测方式进行,监测地点包括维修作业地点工区与作为对照用的生产作业区走道.从采样结果来看,反应腔(chamber)开放时、清理防护罩(shelter)及清理零件时的空气中微粒浓度达到最高,小于0.1μm、0.5μm、5μm粒径大小的微粒浓度可分别高达2.4X105/ft3、8.6X104/ft3、2.0X 104/ft3.维修作业区不论有无维修作业进行,其小于≦0.1 μm粒径大小的微粒浓度均显着高于对照区.但以小于≦5μm粒径大小的微粒浓度来看,仅有维修工作正进行时的维修作业区有较高的工作环境微粒浓度没有维修工作进行时的维修作业区及对照区之小于≦5μm粒径大小的微粒浓度则相对明显较低.本研究结果显示,发光二极管维修工程师有可能经由微粒接触造成危害暴露,特别是微粒中存有的镓、铟等金属之暴露.