硅基金刚石薄膜的Raman散射光谱测量

摘要

有文献报道,随着激发光波长的增加,Raman散射谱峰值的强度会随之改变.本文分别利用波长为1064nm的红外光和波长为532nm的可见光作为激发光源,对采用MPCVD方法在同一生长条件下两种不同来源的Si(SiA、SiB)片上生长的金刚石薄膜进行了测试.并做了SiA、SiB的Raman光谱.得到的结果是用532nm波长的光作为激发光源所得到的Raman光谱谱峰较强,可以得到很清晰的谱图;对于用波长为1064nm的红外Raman散射得到的峰值强度较弱.为了能够利用1064nm的红外Raman散射仪,本文利用差谱的方法对数据结果进行了处理,即用Si片上生长有金刚石膜的Raman谱图与Si的Raman谱图进行差谱.发现可以观察到金刚石特征峰.经理论分析也有相同的结论.结果是利用红外Raman光谱测试,依然可以测得金刚石的谱峰.