一种改善VPNP管的SIC技术研究

摘要

介绍了一种互补双极工艺的关键器件VPNP的性能优化技术，在工艺和器件仿真的基础上，采用原发于改善高速NPN管性能的SIC技术，应用于VPNP管性能的优化。使亚微米的VPNP管的特征频率达ft＞3.0GHz,击穿电压Bvceo＞7.0V，拓宽了该互补双极工艺应用领域。