微小等离子体反应器的导出机理研究

摘要

扫描刻蚀加工系统作为一种无掩膜加工技术，集成了扫描探针加工的分辨率高和等离子体加工适用范围广的优点。刻蚀速率和分辨率是该系统的关键参数，为此有必要对其刻蚀机理进行深入研究。微小等离子体反应器是上述加工系统的核心部件，笔者利用前述工作中的模型和方法对其进行了数值仿真研究，所采用的数值模型，网格划分。