高频微加速度传感器的动态特性研究

摘要

用模态分析的理论和方法，对离散的高频微加速度传感器整体结构模型进行了动态响应仿真分析。根据设计需要，对结构施加了平峰阻尼；并对在不同阻尼比条件下，结构的动应力及模态振型进行了分析，给出了改善结构模态振型的阻尼比及硅片表面动应力的分布规律和数值；确定了传感器不受复杂模态干扰的工作频带；为合理的设计传感器的结构给出了动态特性设计依据。