微米、纳米尺度测量环境的温度测量和控制技术

摘要

真空法和空调法是精密测量环境温度高稳定度和均匀度的主要构建方法。讨论了多热源温场控制的解耦问题,考虑到空气温度控制模型的复杂性和非精确性,依靠先验知识的不完全解耦方法仍将在工程应用中居于主流地位。高精度温度测量一般依赖于测量精度高的铂电阻等温度传感器完成,但自然对流条件下的空气流动性差,应考虑热电阻工作中的自热现象。热电偶和石英温度传感器可能是该条件下温度测量的一种可考虑的选择。