微孔光纤测头的研制及应用

摘要

基于微孔测量中测头不能做得足够小的技术难题,文中提出采用标准多模通信光纤,按特定的工艺技术方法烧熔光纤测球,再进行封装制成测头,应用在微孔测量中。重点介绍了这种测头的技术参数和成形方法、原理。并对研制的φ0.1mm光纤测头几何形貌进行实际测量,应用于φ0.6mm小孔孔径的测量分析,标准偏差不超过0.5μm,取得了很好应用效果。