氧化硅介质膜对蓝光芯片性能的影响

摘要

本文主要研究了在蓝光LED芯片表面沉积一层氧化硅介质膜对蓝光LEO光电参数的影响.试验结果表明,沉积有氧化硅介质膜的芯片,其漏电比例明显低;同时沉积氧化硅介质膜对芯片亮度也有一定程度的提高,而不影响芯片的其他光电性能。