化学气相沉积设备计算机控制系统设计

摘要

化学气相沉积系统设备用于在真空反应室中通过大电流对电阻丝加热,在一定压力下对流过的组分气体进行加热分解,在基体上沉积所需的薄膜。本文针对生产过程中的工艺要求,提出了基于计算机和KingView的控制系统解决方案,实现了生产过程的自动化。