电压施加方式对阳极氧化钛薄膜晶体结构的影响

摘要

采用阳极氧化的方法，通过改变电压的施加方式制备了具有不同形貌的氧化钛薄膜，使用X-射线衍射仪对阳极氧化钛薄膜的晶体结构进行了分析。研究结果表明，电压施加方式不影响氧化钛薄膜的晶体结构，采用不同电压施加方式制备的氧化钛薄膜均为锐钛矿型，并且在相同的晶面上优先生长。在两步施加电压法中，在不同的初始电压下氧化钛薄膜优先生长的晶面不同。