声表面波谐振器结构的边界元法模拟

摘要

本文给出了声表面波谐振器结构精确分析的边界元法。本文首先假设了声表面波谐振器模型为电极质量负载效应忽略、基片表面是自由表面且认为为半无限介质。然后编写相应程序，为加速仿真，本文电极上的电荷密度采用Chebyshev多项式近似。文章最后给出了一种谐振器结构的导纳曲线的仿真结果，该结果与用Ansys有限元软件仿真的结果基本吻合。因而边界元法是一种有效地模拟声表面波器件的通用方法，该方法适合任意电极电荷的几何分布，且能考虑体波损耗。