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声表面波同步谐振器原理与设计

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以声表面波同步谐振器为研究对象,阐述了声表面波谐振器的原理和影响因素,推导了谐振器手工计算公式,设计了工作频率在2.5 GHz、阻抗为50Ω的AlN谐振器,并进行了无损耗情况下的实际器件设计.

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来源
《通信电源技术》 |2020年第9期|70-71|共2页
作者
李秋良; 董志贵;
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作者单位

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海201203;

辽宁科技学院创新创业学院辽宁本溪117004;

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正文语种 chi
中图分类
关键词
声表面波; 同步谐振器; 叉指换能器(IDT); AlN谐振器;

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