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类金刚石膜Ti、Zr掺杂对DLC力学性能的影响

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主要针对类金刚石膜存在的内应力大等缺点,通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜,将掺杂Ti、Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜的表面形貌和力学性能进行了比较,结果表明金属的掺杂能够明显降低薄膜内应力,提高薄膜附着力,与含氢DLC膜相比,金属的掺杂还提高了薄膜的硬度,但掺杂后的摩擦系数变大.

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来源
《第13届全国特种加工学术会议》|2009年|630-633|共4页
会议地点南昌
作者
Ma Guojia; 马国佳; Sun Gang; 孙刚; Zhang Huafang; 张华芳; Wu Hongchen; 武洪臣;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类金属表面防护技术;
关键词
金属表面防护; 类金刚石膜; 力学性能; 内应力; 掺杂效应;

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