非晶硅太阳能电池背反ZnO:Al薄膜制备

摘要

本文以ZnO:Al(2%Al2O3,质量分数)为靶材,用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备ZnO:Al薄膜,分析了各沉积参数对薄膜光电性能的影响。结果表明：溅射功率对ZnO:Al的透过率影响最大,其次是反应腔室压力,而衬底温度对透过率几乎没有影响。ZnO:Al的电阻率主要取决于衬底温度和溅射功率。综合考虑透过率和电阻率,确定了背反ZnO:Al的最佳沉积参数(衬底温度为200℃,溅射功率为200W,反虑腔室压力为0.6Pa),得到了透过率大于85%,电阻率最小为7.6×10~(-4)Ω·cm的ZnO:Al薄膜。制备了ZnO:Al/Ag/ss(stainless steel)背反电极,并将其用于非晶硅太阳能电池.与无背反的不锈钢衬底上的电池相比,非晶硅太阳能电池短路电流密度增加了16%。