隐埋电感工艺的开发与研究

摘要

本文通过蚀刻铜箔结合导通孔连接的方法在四层PCB板中制得了大小为120 nH-1400 nH的三维螺旋隐埋电感,品质因数为6-31(测量频率为1MHZ)。所制得隐埋电感既包括垂直轴线,又包括水平轴线三维螺旋隐埋电感线圈。既包括平面螺旋电感,三维螺旋线圈,又包括两者的复合。另外通过对比研究不同物理参数对垂直轴线三维隐埋电感的影响,结果发现在相同周长的情况下,圆形电感略优于方形电感;电感大小和线圈的面积,圈数成正比,与线圈间距成反比;品质凶数随着线圈的面积、圈数和线圈间距的变化而略有变化。