LTCC内埋置电容和内埋置电感的参数提取及特性分析

摘要

本文对LTCC内埋置MIM电容的传统π型等效电路进行了研究，并采用单π拓扑结构建市了LTCC内埋置电感等效电路模犁。利用电路模型，提取了有效参数及寄生参数，然后采用三维电磁场软件Ansoft HFSS进行了建模和仿真，对比分析了LTCC基板内埋置电容和埋置电感的特性。