铒/镱共掺可溶性配合物光波导放大器的制备研究

摘要

本文介绍了铒／镱共掺可溶性配合物材料的合成过程，并对其薄膜的折射率进行表征；分析铒／镱共掺可溶性配合物薄膜难以刻蚀的的原因，设计了倒脊型光波导结构；详细介绍了铒／镱共掺可溶性配合物光波导放大器的工艺制备过程，制备出倒脊形波导，对波导形貌进行表征，在长度为1．2cm的器件中测试得到较好的近场光斑以及2．22dB(合1．85dB／cm)的相对增益。