批量生产的微晶硅薄膜沉积技术：一室多片、高均匀度和微晶成分可调

摘要

本文叙述了创益在硅基薄膜技术领域取得的突破性进展。由于市场对硅基薄膜电池转换效率等性能要求的不断提升，硅基薄膜技术已从非品硅单层、非品硅同质叠层、非晶硅锗叠层技术发展到至今的非晶／微晶硅叠层技术。如何获得大面积微品硅薄膜快速均匀沉积技术是业内技术发展关注的焦点之一。基于这一技术的成功开发，创益可以批量生产最大面积2 m2的玻璃基底的微晶硅薄膜。其膜厚不均匀度可控制在10％之内，微品薄膜中微晶成分可在0％～90％之问任意调制。该技术的另一重要特点在于一个真卒腔内每次可以同时沉积24片，极大提高了单台PECVD的处理能力和缩短了生产节拍。该技术整合的整线设备使电池设各成本下降极具潜力，同时满足太阳能电池成本不断降低需求的一个重要途径。