超纯氨杂质分析

摘要

超纯氨现广泛应用于LED、TFT、集成电路等领域，在PV行业，则作为晶体硅太阳能电池中氮化硅薄膜重要的氮源，它的质量对太阳能电池起着至关重要的作用，因此对其分析技术提出了较高的要求。本文论述了超纯氨中痕量杂质的分析方法，特别是使用光腔衰荡光谱法对极具挑战性的超高纯度气体中微量水分的分析。