介质阻挡放电分解O2/N2的实验研究及机理分析

摘要

本文通过建立介质阻挡放电型低温等离子体反应器实验系统,利用Q-V Lissajous图形法对低温等离子体反应器电学参量进行测试,研究了该反应器分解O2/N2混合气时,激励峰值电压Vp、放电功率P、电场强度Eg对生成的臭氧及二氧化氮浓度的影响。实验结果表明：低温等离子体产生的高能电子可断裂O2、N2的分子键,生成臭氧及二氧化氮,其浓度均随Vp的增大先升高后降低,且随混合气中氧气初始浓度的增大而增大。