一种研究石英基板上声表面波特性的新方法

摘要

通常来说，研究表面波的温度特性时，首先要考虑环境温度变化引起的尺寸变化，然后再通过引入弹性和压电常数的温度系数来进行分析。实际上，使用的材料常数的温度系数参考了变化的依赖环境温度的基板的均匀形变状态。因此，在非均匀形变基板上，这些温度系数就失效了。P.C.Y.Lee和Y.K.Yong依据叠加于静态形变上的动态波动理论[J.Appl.Phys.Vol.60，No.7，p.2327，Oct 1，1986]给出了石英弹性常数的一阶、二阶温度系数。本文利用Lee的理论分析了热形变石英基板上声表面波的传播特性，主要是温度特性。其结果和以前的方法符合得很好，说明了Lee的方法的有效性。由于该方法的一般性，它还能够用来处理常规方法无能为力的非均匀形变基板上声表面波的传播特性。