非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用

摘要

非传统微纳制备技术主要是指软刻蚀及其衍生的技术，与目前在微制造领域广泛使用的光刻蚀技术相比，软刻蚀的优势主要集中在过程简单，成本低，可以有效提高微制作的效率，并且能够实现平面和曲面上的微/纳米图案(1，2，3维)的微图形转移和微制造等方面。