恒压法正压漏孔校准技术研究

摘要

为了提高正压漏孔校准的测量下限和测量精度，本文推导出了恒压法漏率测量的数学模型，提出了2种恒压法正压漏孔校准装置及校准方法。该校准装置通过优化设计，减小定容室的容积，采用直径为0.8mm的精密细活塞，与变容室进行动密封连接。对校准系统静态本底漏率和动密封结构带来的动态本底漏率，进行了分析和实验测量，采用三种校准方法分别对一组漏率在(10-3～10 8)Pa·m3/s量级的金属压扁型正压标准漏孔进行校准，并进行了不确定度分析，对德国PTB校准过的一支正压标准漏孔进行了校准比对。