磁悬浮分子泵转轴位置测量系统实现

摘要

磁悬浮分子泵具有无摩擦、无需润滑、无污染、高转速、寿命长等优点，广泛地应用于高真空度、高洁净度的真空获得领域。磁悬浮分子泵的基本原理是利用磁轴承产生电磁力使转轴处于无接触的悬浮状态，其悬浮状态的获得需要以转轴位置为基准实施磁轴承输出电磁力的控制。本文将就磁悬浮分子泵转轴位置测量系统及实现案例进行简要的论述。