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电弧离子镀

电弧离子镀的相关文献在1989年到2023年内共计519篇,主要集中在金属学与金属工艺、一般工业技术、物理学 等领域,其中期刊论文283篇、会议论文57篇、专利文献242016篇;相关期刊99种,包括天津师范大学学报(自然科学版)、材料导报、功能材料等; 相关会议45种,包括中国电子学会电子制造与封装技术分会电镀专家委员会第十七届学术年会、第十届全国转化膜及表面精饰学术年会、中国电子学会电子制造与封装技术分会电镀专家委员会35周年学术年会 等;电弧离子镀的相关文献由846位作者贡献,包括孙超、魏永强、蒋志强等。

电弧离子镀—发文量

期刊论文>

论文:283 占比:0.12%

会议论文>

论文:57 占比:0.02%

专利文献>

论文:242016 占比:99.86%

总计:242356篇

电弧离子镀—发文趋势图

电弧离子镀

-研究学者

  • 孙超
  • 魏永强
  • 蒋志强
  • 闻立时
  • 林国强
  • 宗晓亚
  • 刘源
  • 侯军兴
  • 肖金泉
  • 宫骏
  • 期刊论文
  • 会议论文
  • 专利文献

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作者

    • 王树正; 鄢强; 杜鸣皓; 宋慧瑾
    • 摘要: 电弧离子镀作为一种经典的PVD技术已经在涂层领域得到了长足的发展,但沉积过程中产生的宏观大颗粒问题限制了其在纳米功能涂层中的应用。弧源作为电弧离子镀膜设备的核心部件,是宏观大颗粒产生的源头,直接决定镀膜系统的成膜质量。阐述了三类不同靶材形式传统弧源的特点,分析总结了近年来新型弧源研究和应用现状,综述了新型弧源在控弧磁场、水冷系统、辅助构件与引弧装置方面的创新,展望了未来弧源的设计发展趋势。
    • 张士勇; 刘艳梅; 张雅倩; 郭桦帅; 王铁钢
    • 摘要: 目的解决硬质合金刀具高速干切削难加工材料面临效率低、寿命短的难题,提升刀具涂层的耐热能力,在AlCrSiN涂层中周期性植入AlCrON热屏障层,并在其两侧沉积AlCrN层进行包夹,改善含氧层的韧性,既能保持涂层刀具较高的强度,又能改善其耐热能力。方法采用全自动电弧离子镀膜机,研制具有不同调制周期的AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合涂层,分别利用划痕仪和纳米压痕仪测试多层复合涂层的力学性能,采用摩擦磨损试验机测试涂层的摩擦学性能,使用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)和能谱仪(EDS)分析多层复合涂层的表面形貌、物相组成和化学成分。选用最佳调制周期工艺在硬质合金立铣刀表面沉积多层复合涂层,并与AlTiN涂层铣刀进行切削性能对比。结果当涂层调制周期为300nm时,涂层表面光滑致密,内部无明显的柱状晶粒,此时涂层的力学性能最佳,且摩擦系数和磨损率也最低。AlCrN涂层的包裹有效改善了AlCrON涂层的韧性和硬度,且随着调制周期的改变,涂层的力学性能和微观结构也随之变化。结论针对淬硬钢干切削,与AlTiN涂层铣刀相比,AlCrSiN/AlCrN/AlCrON/AlCrN多层复合涂层刀具的切削温度更低,使用寿命更长。
    • 项燕雄; 王泽松; 刘贵昂; 梁枫; 邹长伟; 于云江; 田灿鑫
    • 摘要: 目的探究钢基表面TiN基涂层在海洋环境中的耐磨蚀性能。方法采用电弧离子镀技术,在304不锈钢和单晶硅表面分别沉积TiN、TiBN、TiBN/TiN涂层,并对3种涂层样品的表面–截面形貌、摩擦系数、在人工海水中的电化学性能和摩擦腐蚀行为进行测试。结果形貌表征和干摩擦测试结果显示,TiBN和TiBN/TiN涂层有着比TiN柱状晶更加致密的微观结构,3种涂层的摩擦系数相差不大,比304SS的摩擦系数低。在人工海水环境中的电化学测试结果表明,TiBN/TiN涂层的耐腐蚀性能最佳,TiBN涂层次之,TiN涂层则表现出比304不锈钢基底更差的耐腐蚀特性。在发生摩擦腐蚀的过程中,3种涂层的电位(OCP)均发生了下降。结论利用电弧离子镀技术在304不锈钢表面沉积的单层/多层TiN基涂层,在人工海水环境下,发生的摩擦会增加涂层发生腐蚀的趋势,结构致密,表面易形成钝化膜的涂层,其耐磨蚀性较好。
    • 刘源; 丁继成; 许雨翔; 张宝荣; 赵志勇; 冯利民; 郑军; 王启民
    • 摘要: 目的比较两种沉积方法制备的AlTiN涂层的切削性能。方法利用高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)和电弧离子镀技术(AIP),在硬质合金车刀片上沉积AlTiN涂层,比较和研究两种AlTiN涂层的组织形貌特性及综合性能。利用扫描电子显微镜和X射线能量色散谱仪,观察和检测涂层的生长形貌和元素含量。采用激光共聚焦扫描显微镜表征涂层的表面粗糙度。使用X射线衍射仪分析涂层的物相结构。使用纳米压痕仪测量涂层的纳米硬度以及弹性模量。通过干式车削试验研究涂层刀具的切削性能,并对其磨损机理进行分析。结果两种涂层均为柱状晶生长,HiPIMS制备的AlTiN涂层相较AIP制备的AlTiN涂层,具有更加光滑平整的表面。两者压痕硬度相近,约为30 GPa,但HiPIMS-AlTiN涂层的弹性模量更小。随着切削距离的不断增加,刀具后刀面磨损变得越来越严重,未涂层的车刀在切削1 min(180 m)时,磨损量超过200μm,达到了失效标准。在相同条件下切削9 min(1620 m),AIP-AlTiN和HiPIMS-AlTiN两种涂层刀具后刀面的磨损量分别为231μm和190μm,AIP-AlTiN涂层刀具已达到失效标准。结论干式车削316L不锈钢时,HiPIMS-AlTiN涂层刀具的切削寿命长于AIP-AlTiN涂层刀具,切削过程中,两种涂层刀具的主要磨损形式均为粘着磨损、磨粒磨损和氧化磨损。
    • 杨英; 刘永康; 王芳; 李乐; 陈建军; 杨贵春; 李伯荣; 郑军
    • 摘要: 目的在中碳钢表面制备金属+氮化物涂层以研究其在腐蚀、磨损耦合环境下的服役行为。方法利用电弧离子镀技术在42CrMo钢基体表面制备NiCoCrAlY/NiCoCrAlYN双层涂层,通过改变氮气流量来调控涂层中氮元素含量。采用显微硬度计以及特制的腐蚀磨损试验机,同时结合XRD、XPS、SEM等各类表征技术研究涂层力学及腐蚀磨损行为。结果NiCoCrAlYN涂层物相主要为γ-Ni、γ'-Ni_(3)Al、fcc-CrN和fcc-AlN。随着N_(2)流量的逐步引入,涂层中CrN/AlN陶瓷相含量增加,显微硬度从575HV_(0.05)逐渐提升至730HV_(0.05),而结合力等级从HF 2下降至HF 3。NiCoCrAlY/NiCoCrAlYN双层涂层比NiCoCrAlY单层涂层具有更佳的腐蚀磨损性能,且随着N含量的增加而显著提升。当N2流量为400 mL/min时,涂层显示出最佳的腐蚀磨损性能。此外,涂层的失效形式也由磨损失效逐渐转变为腐蚀失效。结论由于氮化物表层的高硬度特性增强了涂层耐磨性,NiCoCrAlY-NiCoCrAlYN界面的阻挡作用提高了涂层耐蚀性,加之底部NiCoCrAlY层具有良好的韧性和延展性,三者的综合作用导致NiCoCrAlY/NiCoCrAlYN双层涂层的腐蚀磨损性能优于NiCoCrAlY单层涂层。
    • 刘怡飞; 宋启萌; 李助军; 田灿鑫
    • 摘要: 为提高单一TiN涂层的性能,采用AS600DMTXBE型阳极层离子源辅助电弧离子镀系统制备TiN层和TiSiN层厚度比分别为1∶2、2∶2、3∶1的TiN/TiSiN多层涂层。研究不同厚度比的TiN/TiSiN多层涂层的形貌、结构以及性能,并与TiN涂层性能进行比较。结果表明:TiN/TiSiN多层涂层为TiN面心立方结构,其中厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的TiN(111)衍射峰较强;厚度比为1∶2的TiN/TiSiN多层涂层摩擦因数最低,表明掺入Si的含量越大,涂层减摩性能越好;TiN/TiSiN多层涂层的减摩作用、硬度和结合强度都优于TiN涂层,且厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的硬度和结合强度均最大;厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的耐腐蚀性最高,表明Si元素的掺入能够提升涂层的耐腐蚀性能。
    • 程玮杰; 王明磊; 林国强
    • 摘要: 为了改善CrAlN薄膜的摩擦性能,本研究在增强磁过滤脉冲偏压电弧离子镀设备上,用分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上分别制备了不同成分的CrAlN-DLC硬质复合薄膜,并采用不同手段表征了薄膜的表面形貌、成分、相结构以及力学和摩擦性能。结果表明,不同成分薄膜表面均平整致密,膜厚均在1.05μm左右。随着靶弧流比IC/ICrAl的升高,薄膜中碳的原子分数由33.1%升至74.6%。薄膜的相结构主要由晶体相和非晶相复合组成,其晶体相主要为c-(Cr,Al)N相,且随着碳含量增大晶体相减少、晶粒尺寸减小,其非晶相主要为DLC,其中sp^(2)/sp^(3)的比值随碳含量增大而减小。相应地,薄膜的硬度随着碳含量增大而提高,当碳的原子分数为74.6%时,达到最大值(26.2±1.4)GPa,且该成分点处薄膜摩擦系数也降至最小值0.107,磨损率仅为3.3×10^(-9) mm^(3)/Nm。综合而言,当非晶DLC相最多时,CrAlN-DLC复合薄膜的综合性能达到最佳,较之CrAlN薄膜,摩擦性能显著提高。
    • 赖振国; 贾倩; 唐诗琪; 高凯雄; 张斌
    • 摘要: 高温润滑是核工业、航空、船舶和钢铁领域的难题之一。涂层材料可以在不改变原有基材的基础上,极大地提升材料的高温服役性能。氮化物涂层因其耐温性能好、摩擦因数低、耐磨性好等特性,成为该领域的研究热点。从材料的构成和设计出发,对单元氮化物涂层、二元氮化物涂层、三元氮化物涂层、多层氮化物涂层和高熵合金涂层等方面进行综述。对氮化物涂层在高温润滑领域的发展进行展望,认为发展非氮化物金属和氮化物金属多元组涂层和高熵合金氮化物涂层建立氮化物涂层数据库将成为新的研究热点,对氮化物涂层在高温润滑与耐磨条件的应用与服役有一定指导意义。
    • 曲帅杰; 郭朝乾; 杨昭; 代明江; 林松盛; 石倩; 苏一凡; 韦春贝; 唐鹏
    • 摘要: 先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度。根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,并研究了其微观结构和力学性能。结果表明:随着温度升高,光谱强度先升高后降低,在350°C下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高,所得CrN涂层最致密。450°C时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高,力学性能最优。
    • 肖惠军; 郭天文; 丛龙凤; 周颖; 王宝成
    • 摘要: 目的:研究牙刷磨刷对钛铸件氮化钛镀膜颜色稳定性的影响。方法:采用等离子镀膜方法在纯钛表面形成氮化钛镀膜,然后在Ⅴ型往复式牙刷磨耗试验机上对有镀膜的钛试件表面进行磨刷10800次,磨刷压力150 g,以模拟半年的刷牙条件。用分光测色仪测定磨刷前后氮化钛镀膜的颜色参数L^(*)、a^(*)、b^(*)值和总色差值(ΔE),以评价颜色稳定性。结果:磨刷前后氮化钛镀膜的L;值和a;值变化不显著(P>0.05),b;值变小(P<0.01),镀膜的黄色下降,蓝色增加。镀膜磨刷前后的总色差ΔE为0.86±0.07,未达到人眼可分辨最小总色差值(ΔE 1.5-2.0)。结论:采用等离子镀膜方法在纯钛表面形成的氮化钛镀膜具有优良的耐磨耗性能和黏附性能,采用模拟刷牙半年时间的体外磨刷试验后,氮化钛镀膜的颜色稳定,未发生肉眼可觉察的颜色变化。
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