Ag靶弧流对TiN/Ag多层膜结构和性能的影响

摘要

采用电弧离子镀技术，通过改变Ag电弧靶的弧流在医用不锈钢基底表面制备TiN/Ag多层膜，分析多层膜的微观结构，测试多层膜的厚度、结合强度和硬度，通过摩擦磨损实验测定多层膜的摩擦系数,研究了不同Ag靶弧流对多层膜结构和性能的影响规律.实验结果表明,在不同Ag靶弧流下,TiN/Ag多层膜有TiN(111)晶面和Ag(111)晶面择优生长.Ag靶弧流在一定程度上影响着多层膜中Ag的结晶度,当弧流为50A时,Ag的结晶度达到最佳,此时多层膜的结合力最大,为45.33N;多层膜的硬度达到最小值1189.4Hv;多层膜的摩擦系数最小,为0.242.Ag靶弧流影响Ag层的结晶度,并且对多层膜的结合强度、硬度和摩擦系数具有明显影响.