温度对电弧离子镀CrN过程等离子体状态及涂层结构和力学性能的影响

摘要

先采用发射光谱法分析了在不同温度下电弧离子镀CrN涂层过程中的等离子体状态,并在假设局部热力学平衡的条件下计算了等离子体密度,用玻尔兹曼作图法计算了等离子体温度。根据Cr靶弧光放电特点选择镀膜工艺,在不同温度下制备了CrN涂层,并研究了其微观结构和力学性能。结果表明:随着温度升高,光谱强度先升高后降低,在350℃下电弧离子镀时等离子体光谱强度、等离子体密度及等离子体温度均最高,所得CrN涂层最致密。450℃时所得CrN涂层的纳米硬度和弹性模量都最高,力学性能最优。