机译:催化剂形状和蚀刻剂组成对硅金属辅助化学刻蚀制造3D纳米结构中刻蚀方向的影响
3D nanostructures; Etching; Metal-assisted chemical etching; Nanofabrication; Silicon;
机译:催化剂形状和蚀刻剂组成对硅金属辅助化学刻蚀制造3D纳米结构中刻蚀方向的影响
机译:金属硅化学腐蚀中催化剂形状对腐蚀取向的影响
机译:使用Tollen试剂的金属辅助化学蚀刻,以沉积用于制备准有序硅微/纳米结构的纳米银催化剂
机译:钨作为CMOS兼容催化剂,用于硅的金属辅助化学蚀刻,以创建2D和3D纳米结构
机译:作为3D纳米制造平台的硅金属辅助化学蚀刻的开发。
机译:金属辅助化学刻蚀制备纳米结构黑硅的增强光吸收率及器件应用
机译:由金属辅助化学蚀刻硅制造的硅纳米结构