机译:催化剂形状和蚀刻剂组成对硅金属辅助化学刻蚀制造3D纳米结构中刻蚀方向的影响
机译:CMOS相容催化剂用于丙泥:高纵横比硅纳米结构的气相中氮化钛辅助化学蚀刻
机译:硅中金属辅助化学蚀刻中带有固定催化剂的3D平面外旋转蚀刻
机译:钨作为CMOS兼容催化剂,用于硅的金属辅助化学蚀刻,以创建2D和3D纳米结构
机译:作为3D纳米制造平台的硅金属辅助化学蚀刻的开发。
机译:金属辅助化学刻蚀制备纳米结构黑硅的增强光吸收率及器件应用
机译:CMOS相容催化剂用于丙泥:高纵横比硅纳米结构的气相中的氮化钛辅助化学蚀刻