公开/公告号US2021407833A1
专利类型
公开/公告日2021-12-30
原文格式PDF
申请/专利权人 INTEL CORPORATION;
申请/专利号US202016911466
发明设计人 CHANDRASHEKARA SHASHANK KAIRA;PHILLIP C. MILLER;PURUSHOTHAM KAUSHIK MUTHUR SRINATH;DEEPAK GOYAL;
申请日2020-06-25
分类号H01L21/67;G01J5;
国家 US
入库时间 2022-08-24 23:07:15