公开/公告号US2021398814A1
专利类型
公开/公告日2021-12-23
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申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US202117348081
发明设计人 STEVEN C. H. HUNG;BENJAMIN COLOMBEAU;ABHISHEK DUBE;SHENG-CHIN KUNG;PATRICIA M. LIU;MALCOLM J. BEVAN;JOHANES F. SWENBERG;
申请日2021-06-15
分类号H01L21/28;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-24 22:59:10